生產規格

Specification

1

電路板尺寸 Panel Size

200mm×200mm-630mm×810mm

2

電路板厚度 Thickness Panel

0.03mm-5.00mm

工作臺面

Workbench

3

臺面數量 Workbench

單臺面 Single Workbench

4

對位方式 Alignment Mode

雙CCD對位 Double CCDs Alignment

光學系統

Optical System

5

光源種類 Light Type

光纖雷射器 (LD) Laser Diodes 405±5nm

6

冷卻方式 Cooling Mode

水冷 Water Cooling

7

光源規格 Light Power

80W

120W

8

光機數 O.S. Number

4

6

9

光斑均勻性Illumination Uniformity

＞95%

10

感光焦深 DOF

±250um

生產能力Throughput

11

產能Throughput

光功率 Light Power

80W

120W

12

過板量(Sides)24"*21"

20mj/cm2

219/h

265/h

13

90mj/cm2

140/h

185/h

14

120mj/cm2

119/h

158/h

15

含3秒上下板時間

16

每面過板時間Timespan/Side24"*21"

20mj/cm2

13.3s

10.5s

17

90mj/cm2

22.1s

16.3s

18

120mj/cm2

27.1s

19.6s

19

不包含上下板時間

20

曝光能量 Resist Energy

≤1000mj/cm2

21

量產解析力 Mass Resolution

50um/50um

22

感光材料類型 Resist Type

傳統幹膜、高感幹膜

DryTraditional Dry Film. High Sensitive Dry Film

23

無孔對位精度

No-hole Alignment Precision

24um

24

對位精度 Alignment Precision

±12um

控制系統Control System

25

作業系統 Operation System

Win10

26

控制方式 Control System

工業級電腦 IPC(Industrial PC)

27

軟體操作語言 Culture

中文/英文 Chinese/English

生產及環境需求Environment Requirement

28

翻板方式 Flip Mode

左右翻板 Flip Left to Right

29

漲縮管控 Scale Mode

固定漲縮、自動漲縮、管控預警

Fixed, Automatic, JE/PE Control

30

檔案格式 CAM Format

Gerber 274X/274D/TIFF/DXF/ODB++(Optional)

31

靠齊方式 Alignment Mode

左下靠齊 Left-Bottom

32

室內照明 Clean Room

黃光萬級 / Clean Room10000 Level

33

環境溫度 Temperature

22±2℃

34

環境溼度 Humidity

50±10%RH

機臺外型

Profile

35

機臺尺寸 Length*Width*Height

2500mm×1562mm×1638mm

36

機臺重量 Weight

3500kg

37

外殼材質Enclosure Material

不鏽鋼外殼 Stainless Steel

輸入需求

Input Requirement

38

電力需求 Electric Condition

AC380V±5%/50-60Hz/25A/三相四線

AC380V±5%/50-60Hz/25A/Three-phase four-wire

39

氣源需求 Air Condition

正 壓 6kg/cm²/ 管 徑 (φ) 6mm Pressure Positive 6kg/cm² / Pipe(φ) 6mm